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供应方式有小钢瓶,Y瓶,T瓶,ISO槽车,现场供气等。
主要的特气产品有以下类别:
uedbet赫塔菲网站种类:特气HCl, TCS, SiH
4, NH
3, N
2O, BCl
3, CF
4, C
4F
8, NF
3,SF
6, PH
3 mixture, B
2H
6 mixture, SiH
4 mixture。普气Ar, O
2, H
2, N
2。
纯度:电子级,99.99%, 99.999%或以上。
包装:44L, 47L, 49L, 500L, 1000L, etc...
应用领域:IC, TFT-LCD, PV, LED中的Diffusion, Dry Etching或Thin Film等工艺。
产品实例:
主要uedbet赫塔菲网站的应用:
氨气(NH3) 氯化氢(HCl) TCS(三氯氢硅)
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