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   {氨气(NH3)的应用  回到 普气、特气

  1. 半导体IC行业中的应用:氨气可用于生成绝缘隔层和钝化层。
    如绝缘Nitride层:SiH4 + NH3...---> Si3N4...


     

  2. 光电行业中的应用
    ——在LED的激光器和光电二极管上植入氮化铟镓厚层
    ——用于增强光存储器存储密度和发光分辨率
    ——无阳光时的光敏二极管



    ——移动电话/PDA
    ——LED背光源

    ——LED汽车照明


  3. TFT-LCD液晶屏薄膜工艺中的应用
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