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半导体行业

半导体产业是现代信息社会的核心基础产业。现今的半导体技术,以高频、大电流、高电压、低功耗、纳米加工技术、SoC设计、SiP封装技术为特征,依然充满创新的活力。半导体光电、太阳能光伏、MEMS等新一代半导体基础产业,新型平板显示、下 一代互联网、物联网、智能电网、汽车电子、节能环保等21世纪的战略性新型产业的发展都将以半导体技术与产品为重要基础。

半导体行业常用uedbet赫塔菲网站:

NH3 氨气

应用:CVD工艺植入氮化硅薄膜,在带间隙的高
      速、高功率半导体晶体管上植入氮化硅化合物等。

N20 一氧化二氮 (笑气)

应用:和硅烷一起用于在CVD过程中生成氮化硅薄
      膜。

SiH4 硅烷

应用:在外延生长技术中用作硅源、用于低温二氧
      化硅CVD、用于氮化硅CVD 、氯硅烷类及烷基氯硅烷类的骨架结构,硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮
      化硅等的原料。

BCl3 三氯化硼

应用:等离子刻蚀、在离子植入中用作硼源(N掺杂)

CO2 二氧化碳

应用:在半导体制造中氧化、扩散、化学气相淀积,CVD中改变去离子水的导电性。

C4F8 八氟环丁烷

应用:刻蚀uedbet赫塔菲网站 / 等离子刻蚀

SF6 六氟化硫

应用:等离子刻蚀

CF4 四氟化碳

应用:以纯四氟化碳或者和氧气混合的方式,用于在CVD过程之前,对二氧化硅、氮化硅、多晶硅和一些
      硅-金属化合物进行的等离子刻蚀

Xe 氙气

应用:在离子植入中作为电子源

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