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光伏行业

利用太阳能的最佳方式是光伏转换,就是利用光伏效应,使太阳光射到硅材料上产生电流直接发电。以硅材料的应用开发形成的产业链条称之为光伏产业,包括高纯多晶硅原材料生产、太阳能电池生产、太阳能电池组件生产、相关生产设备的制造等。

太阳能是未来最清洁、安全和可靠的能源,发达国家正在把太阳能的开发利用作为能源革命主要内容长期规划,光伏产业正日益成为国际上继IT、微电子产业之后又一爆炸式发展的行业。

在光伏行业中,uedbet赫塔菲网站主要用于薄膜沉积和清洗。这些工艺中,常用的uedbet赫塔菲网站有:氨气(NH3)、硅烷(SiH4)、四氟化碳(CF4)、三氟化氮(NF3)。

光伏行业中的常用uedbet赫塔菲网站
NH3 氨气
应用:在CVD过程中生成氮化硅薄膜

SiH4 硅烷
应用:在外延生长技术中用作硅源、用于低温二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD

NF3 三氟化氮
应用:清洗CVD反应室, 对硅和氮化硅蚀刻

O2 氧气
应用:炉室清洗

PH3 磷烷
应用:掺杂uedbet赫塔菲网站

He  氦气
应用:用于冷却、晶体生长、等离子干刻

CF4 四氟化碳
应用:以纯四氟化碳或者和氧气混合的方式,用于在CVD过程之前,对二氧化硅、氮化硅、多晶硅和一些硅-金属化合物进行的等离子刻蚀。

B2H6  乙硼烷
应用:在离子植入中用作硼源(P掺杂)、用于外延生长
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